Evactron净化器
XEI科学公司是电子显微镜等离散系统制造者,报告使用氢净碳
XEI科学公司EvactroneE45净化系统继续扩展使用博士讲解Gabe Morgan三月初SPIE高级线程学会议显示,使用Evactron等离子体生成的原子氢对清除EUV光学所污染碳有效
半导体行业继续制作小特征时,平面系统向短波长移动,如EUV和极精密和昂贵光学需求可能被氧净化损耗Evactron等离子系统净化氢气生成原子氢并成功消除EV镜中的油气污染清除速率见于纳米/分钟距离和距离远程等离线源达30cm
XEI和与选定实地伙伴继续工作优化系统参数,以优化特征高可靠下游等离子清洗,为未来半导体生产找到这一重要解决方案
XEI机架模型可嵌入SEMs、FIBs和其他电子波束系统清除碳污染,如碳氢化合物或大气污染Evactron De-Cs系统使用RF等离子生成氧基流出室去染X光窗口安全使用并免费交付5年限保修厂服务
XEI继续开发更好的支持服务对象已经为欧洲、中国和拉丁美洲国家指定新伙伴求求访问公司网站获取最新细节www.evactron.com.
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