XEI科学公司EvactroneEP发布 在美国Vacum学会年会上

提供一种新的等离子清洗方法,设计对象为物理和材料科学群建并使用定制真空系统

Evactron远程等离子机源唯一新系统从任何真空层即时点火低瓦空阴极电极生成等离子紧凑和可支付性商业上大多数远程等离子源设计半导体设备,因此通常为等离子清洗其他吸尘系统标注Evactron系统专门设计安全清洗电子显微镜高速率过程分分钟清除接触环境空气、系统汇编、不良真空实践等期间获取的碳清除碳速度下拉时间提高仪表性能并用激光阻塞碳沉降和光学和其他敏感表面加载粒子束防交叉沾染

XEI等离子研发团队设计EP系统以支付得起,提供快速可靠高性能清洗关键RF生成器和阻抗匹配器与XEI全功能Evactron脱清流出后带注入高氧基快速清洗因2-20毫升Torr区域中长平均自由路径固定输入气流率消除压力计和可变气流阀和控制需求特殊可靠的等离子点火系统应用专利,即使在机房起步时吸尘器高度有效安全性吸附器允许只有在单元插入真空时方块功率转换单元CE、NRTL、半S2和ROHS达标EP系统设计时考虑进价通过去除高成本组件并设计易组装单元,现价低于全功能等离子系统成本的一半

前端面板只有一个控件:开关打开室内RF电源和气流启动清洗等离子计算机接口连接可用来确定清洗时间、周期清洗和需要时电位单元需要安装在吸附室(NW40或CF2.75法兰)、吸附电源应用和等离子开机

XEI现已售出二千多个Evactron系统,使用电子显微镜、FIBs和其他真空采样室等高吸尘器解决多环境的污染问题每一系统都配有5年限保XEI最新创新

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