Queensgate的晶圆Z级台是其产品线的新产品，使用Queensgate领先的数字闭环控制器实现快速响应和结算时间

皇后门，先验科学的一个品牌，已经宣布推出wp - z - 120 -晶圆片的阶段．毫秒响应时间和高带宽使WP-Z-120A晶圆定位系统非常适合高吞吐量的应用。晶圆台可以使用光学显微镜进行晶圆检查，如Prior Scientific的OpenStand显微镜或使用各种光学或其他检查技术的OEM版本。

该平台设计用于容纳300毫米(12”)晶圆片，并提供了一个特殊的性能，负载能力可达8公斤，甚至适用于非常重的晶圆卡盘。该平台采用电容式定位传感器，提供纳米位移测量和精密闭环反馈。弯曲导向在闭环模式下提供无摩擦、可靠的运动，超过120 μ m，并与Queensgate的数字闭环控制器实现快速响应和解决时间。

“我们很高兴向市场推出WP-Z-120A晶圆扫描仪。我们想设计一种晶圆扫描仪，既能承载高负载，又能实现市场领先的快速响应和解决时间，”Queensgate的业务发展经理Alison Raby说，“晶圆扫描仪是为OEM客户设计的，可以轻松适应新的定制版本。”

WP-Z-120A晶圆台可根据不同的环境和规格定制。它是真空(HV)兼容和理想的腔在电子显微镜。超高真空(特高压)和特高压- rad辐射硬版本也可用。一个更高的负载定制版本可用于高达14公斤的负载和一个可用于平台调平和扫描的倾斜版本。可根据要求扩展到160 μm和较小尺寸的200 mm晶圆。

关于王后门

Queensgate是Prior Scientific的一个品牌，拥有超过40年的经验，提供定制和OEM纳米定位解决方案，满足精度、准确性和动态性能的要求。由于强化的控制技术，Queensgate提供了市场领先的性能。昆斯门的许多产品用于苛刻的环境，如超高真空，高通量制造和空间设备。世界上超过一半的硬盘都是通过昆斯门的超精密测试台进行测试的。昆斯盖特总部位于英国剑桥，在英国佩恩顿设有制造设施，在美国、德国、中国和日本设有区域业务。

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