新的SEM校准标准
EM分辨率计算工具提供商电子显微镜用户宣布新的SEM标定标准-EM-Tec监控监串
EM-Tec监控监和M数列放大标定标准完全特征实用标定标准是专为表顶SEM、标准SEM、FEGSEM、FIB、Auger、SIMS和反射光显微镜系统放大标定或临界维度测量开发的
EM-Tec监控监数列使用MEMS最新制造技术制作高对比铬沉积线对大型特征和超铬金对小特征2.5微米保证最优信号噪声比校准MCS-1规模从2.5毫米到1m不等,表顶和紧凑SEM理想化,覆盖10至20 000x放大MCS-0.1尺度覆盖宽度从2.5毫米下至100纳米不等,在SEM系统、FEGSEM和FIB系统对10至20万x特别有用
M-10标定标准在超缩放Si子板块表面嵌入网格模式,为放大标定和图像变形评估提供简单实用工具M-101010m平面网格模式拟用于100至1000x放大
MCS和M标定标准都配有可追踪证书MCS序列可选择单个标定证书MCS-0.1标定标准极佳地替代停止的SIRA标定标准并加法
这些标准也可以作为多标准范围的一部分提供常用的Cold oncourpt解析标准可与MCS或M序列标准并存,快速简便覆盖所有常用SEM标定
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