XEI科学启动OEM电波市场革命EvactronES等离子系统
XEI科学公司发布微镜微分析会议EvactronES新法等离子清洗,设计为OEM扫描电子镜和高吸尘室制造者
s/FIBs上设计OEM集成ES模型很容易启动专利等待POP等离子点火过程EvactronPlasma激进源码ES执行与 XEI去年介绍EvactronZephirTM模型相同的流后清除快速清除速率达150O/min@20cm使用涡轮分子泵时从等离子源ES模型以低价提供溢价清理电量,使其既能部署成本低基础或溢价SEMs系统,又部署FIBs系统
ES命令显微镜计算机运行命令从SEM开始等离子清洗并停止命令结束显微镜插件关闭电子枪阀它可以从任何真空压力启动 免后送系统散乱允许ES使用EME软件极易操作电位、清洗时间和清洗周期也由SEM计算机控制
EvactronES拥有20W@13.56MHzRF电源、带外部计算机连接的微处理器控制、固定阻塞匹配、带空阴极电极ERS和100-250VAC50/60Hz输入内含XEI标准5年工厂保修
XEI现已售出1850多个Evactron系统,使用电子显微镜、FIBs和其他真空采样室等高吸尘器解决多环境的污染问题XEI最新创举将在2014年8月3日至7日在Chartford举行的显微分析年度会议上启动
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