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XEI科学公司热门EVACTRON^®de-ContaminaTM等离子清除系统电子显像机和其他吸尘机宣布新Evactron^®软链^TM样本清洗室使用纳诺拉布技术

纳诺拉布技术基地设在加利福尼亚州,提供顶尖技术和专门知识帮助故障分析、高级显微镜和FIB电路编辑服务由经验丰富的分析组组成,使用先进设备Nanolab提供保证精度和结果提供必备的技巧和技术 解决客户因今日缩小几何而经历的 日益严重的挑战

文森特Hou下显微镜组提供TEM/STEM成像和EDS/ELS服务持续探索提高向客户服务质量的新方式Nanolab最近添加Evactron ^®XEI科学技术透视Evactron软克里安标本清洗室下游化学蚀刻系统提供非常“gentle”清理过程

Jeinshyue技术开发VP指出,“我们现在能够控制污染而不刻录/破坏样本,特别是带聚合填充器的样本。”

EvactronSoftClean系统组合不是常用意义上的“plasma净化器”。样本通过下游RF等离子处理净化,将碳氢化合物分解成CO ₂COH ₂O.温和过程可预防标本损害,典型的由热离子轰击引起的,与强能离子物种喷射相关联精密下游流程化学灰化碳氢化合物并泵出室

XEI现已售出超过1 300 Evactron系统,使用电子显微镜、FIBs和其他真空采样室搭建等仪器解决多环境的污染问题

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